橢偏儀 是***種用于探測薄膜厚度、光學常數以及材料微結構的光學測量儀器。它是利用偏振光在薄膜上下表面的反射，通過菲涅耳公式得到光學參數和偏振態之間的關系來確定光學薄膜折射率和厚度。在現代科學技術中，薄膜有著廣泛的應用。也正是如此橢偏儀的應用也很廣泛，那么接下來我們就是來說說橢偏儀都有哪些特點。

橢偏儀測量的可測量的對象廣泛，可以測量透明膜，無膜固體樣品，多層膜，吸收膜和各種性能不同、厚度不同、吸收程度不同的薄膜，甚至是強吸收的薄膜。

橢偏儀測量細致被測量的薄膜大小尺寸可以很小，只要1mm即可測量，小于光斑的大小。

橢偏儀測量方式靈活，既可以測量反射膜，也可以測量透射膜。

橢偏儀測量的速度很快。

測量誤差小，在各種粒子束分析測試技術中，光束引起的表面損傷以及導致的表面結構改變是Z小的。

在橢偏光譜中，被測對象的結構信息(電子的、幾何的)是蘊含在反射(或透射)出來的偏振光束中，通過光束本身與物質相互作用前后產生的偏振狀態(振幅、相位)的改變反映出來。

橢偏儀測量精度高。橢偏光譜的工作原理雖然建立在經典電磁波理論上，但實際上它有原子層***的靈敏度。對薄膜的測量準確度可以達到1nm，相當于單原子層的厚度。

對樣品的要求不嚴苛。樣品可以是塊體材料與薄膜，由于它可測得物質在***個波長范圍內介電函數的實部和虛部，信息量較多，可對固體樣品作精細分析。

橢偏儀能同時分別測量出幾個物理量。橢偏光譜可直接得到光學常數的實部和虛部，不需要K-K關系。

上述文章內容就和大***介紹了橢偏儀的特點，希望能夠使大***更好的了解橢偏儀。