MF-200C INHA氣體質(zhì)量流量控制器
價(jià) 格：詢(xún)價(jià)
產(chǎn) 地：山西更新時(shí)間：2020-11-03 13:57
品 牌：山西仁荷型 號(hào)：MF-200C
狀 態(tài)：正常點(diǎn)擊量：2210
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INHA質(zhì)量流量控制器可測(cè)量腐蝕性氣體，結(jié)構(gòu)緊湊，重復(fù)性高，響應(yīng)時(shí)間快，性?xún)r(jià)比高，可廣泛用于設(shè)備配套。
自主開(kāi)發(fā)研制的產(chǎn)品質(zhì)量流量計(jì)，是***種先進(jìn)的智能精密質(zhì)量流量測(cè)量?jī)x表。該流量計(jì)可直接用來(lái)測(cè)量管道中介質(zhì)的質(zhì)量流量及總量、體積流量及總量、介質(zhì)的密度、溫度、溶液的濃度以及較均勻混合的兩種液體各自的濃度等參數(shù)。 該流量計(jì)即使在惡劣的工作環(huán)境下也能表現(xiàn)出優(yōu)異的性能。其內(nèi)部沒(méi)有活動(dòng)部件，不需復(fù)雜的安裝，對(duì)工況條件也沒(méi)有苛刻的要求。具有抗干擾能力強(qiáng)，測(cè)量精度高、量程比大、工作穩(wěn)定可靠、對(duì)安裝要求低、對(duì)流體狀態(tài)要求低，壓力損失小等優(yōu)點(diǎn)，且易清洗、具備自排空功能；適用于實(shí)時(shí)在線(xiàn)測(cè)量和實(shí)時(shí)在線(xiàn)監(jiān)控。其基本技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到***際先進(jìn)水平，具有非常廣闊的發(fā)展及應(yīng)用前景。 每臺(tái)傳感器都由不銹鋼材料制造，變送器的多種輸出能滿(mǎn)足您的各種需要。
產(chǎn)品參數(shù)
用途和特點(diǎn)
氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）在石化工業(yè)、生化、半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、蔬果保鮮、加氣飲料、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的場(chǎng)合包括：電子工藝設(shè)備，如：氧化、CVD、MOCVD、擴(kuò)散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、以及微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、氣相色譜儀及其他分析儀器。
主要技術(shù)指標(biāo)
編號(hào) | 項(xiàng)目 | MF-200C | MF-200M |
1 | 流量規(guī)格（N2） | 10sccm～30slpm |
2 | 準(zhǔn)確度 | ±1％F.S(Full Scale) |
3 | 重復(fù)精度 | ±0.25％F.S（Full Scale） |
4 | 響應(yīng)時(shí)間 | ≤2sec（特別要求時(shí)：≤1sec） |
5 | 耐壓 | ≤90bar |
6 | 工作環(huán)境溫度 | 0℃～50℃ |
7 | 輸入輸出信號(hào) | 0～5V | 0～5V or 4～20mA |
8 | 供電 | +15Vdc or +24Vdc 350mA |
9 | 漏率 | 1×10atm.cc/sec |
10 | 使用范圍 | 2～100％滿(mǎn)量程 |
結(jié)構(gòu)
氣體質(zhì)量流量計(jì)由流量傳感器（Sensor），分流器通道和流量放大電路等部件組成；在氣體質(zhì)量流量計(jì)的基礎(chǔ)上，再加上調(diào)節(jié)閥門(mén)和PID控制電路就構(gòu)成了氣體質(zhì)量流量控制器。
滬公網(wǎng)安備31011502016460號(hào)
