DS95Navi-原子力顯微鏡簡(jiǎn)介：
“你不可能用AFM重復(fù)找到這個(gè)地方”這句話已不再正確。即使從AFM移去樣品，DME的Navigator 220TM仍能確保再次觀察到同***個(gè)地方。基于參考結(jié)構(gòu)，系統(tǒng)能找到精度在250 nm之內(nèi)的感興趣區(qū)域。整個(gè)定位過程是全自動(dòng)和高穩(wěn)定性，從而完善了長(zhǎng)期和短期測(cè)試分析***個(gè)示例的多個(gè)結(jié)構(gòu)特點(diǎn)。其主要應(yīng)用領(lǐng)域是光刻技術(shù)中質(zhì)量控制，納米壓痕和多元工藝分析，例如材料表面工程，納米管，納米顆粒，量子點(diǎn)和薄層/膜的生長(zhǎng)等等。
DS95Navi-原子力顯微鏡特點(diǎn)：
DS95 SPM掃描儀的緊湊設(shè)計(jì)，保證了其出色的穩(wěn)定性和掃描速率。
獨(dú)特的即插即用懸臂切換功能確保儀器可以快捷和安全的操作。
***個(gè)集成的光軸為SPM掃描儀在尋找和定位目標(biāo)過程中提供總體視覺控制。
DS95 SPM掃描儀作為基本設(shè)備提供給所有常用和的SPM型號(hào)。
集成電子元件的掃描頭保證了在電性SPM模式下的噪音值。
DS95多元底座允許DS95 SPM掃描儀，納米壓痕儀和光學(xué)顯微鏡等安裝在DME底座平臺(tái)上。
DS95Navi-原子力顯微鏡型號(hào)：
| Igloo | Compact Granite | Proberstation 150 | Navigator 220 |
樣品尺寸 樣品厚度 | 50mm 5mm | 150mm 60mm | 350mm 60mm | 150mm 60mm |
樣品的XY方向移動(dòng)量 XY方向移動(dòng)方式
完全自動(dòng)化測(cè)量 自動(dòng)尋找和重新尋找程序
| 16×16mm
手動(dòng)
否 否 | 16![]() ×16mm或50×50mm 手動(dòng)或機(jī)動(dòng),帶有操作桿和自動(dòng)表控制的 否 否 | ![]() 200×150mm
機(jī)動(dòng),帶或帶有參考坐標(biāo)系統(tǒng)，操作桿和自動(dòng)表控制的 是 否 | 200×150mm
機(jī)動(dòng)，帶有參考坐標(biāo)系統(tǒng)的操作桿和自動(dòng)表控制 是 是 |
高分辨率CCD相機(jī) LED傳輸和反射照明 | 是
是 | 是
是 | 有亮和暗場(chǎng)或DIC成像 是 | 有亮和暗場(chǎng)或DIC成像 是 |
掃描器 SPM模式 | 見下文 ![]() ![]() 所有模式
| 見下文 所有模式 | 見下文 所有模式 | 見下文 所有模式 |
個(gè)人電腦 控制器 軟件 DiProWa （可編程數(shù)字波形分析儀） | 可選 ![]() C26
![]() ScanTool
可選 | 可選 C26 ScanTool 可選 | 可選 C26 ScanTool 可選 | 可選 C26 ScanTool 可選 |
液體樣品腔 磁穩(wěn)定性平臺(tái) 熱穩(wěn)定性平臺(tái) 探頭裝配工具 | 可選 可選 可選 可選 | 可選 可選 可選 可選 | 可選 可選 可選 可選 | 可選 可選 可選 可選 |
DS95Navi-原子力顯微鏡技術(shù)參數(shù)：
- 掃描體積：50×50×5mm（DS95-50）或200×200×15mm（DS95-200）
- XYZ方向探針移動(dòng)量：獨(dú)立于樣本大小！ （AFM重要的通用準(zhǔn)則）
- 的機(jī)械穩(wěn)定性（在Z方向的原子步進(jìn)分辨率0.06 nm的有效值在HOPG）
- 快速的掃描速率高達(dá)30Hz
- 在Z方向的硬件線性掃描運(yùn)動(dòng)
- 在Z方向的噪音水平<0.05 nm的有效值
- 自我調(diào)節(jié)激光/懸臂偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)
- *小。在AC模式幅度設(shè)置<1納米
- 對(duì)懸臂式綜合光軸
- 即插即用懸臂式插入，速度*快，目前市場(chǎng)上*安全的懸臂交流！ （獨(dú)特）
- 由壓電馬達(dá)高度敏感的方法步驟（獨(dú)特）
- SPM模式：交流，包括振幅成像和相位成像特區(qū)，包括LFM, MFM, KPFM, EFM, SCM, STM
滬公網(wǎng)安備31011502016460號(hào)
