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日本JEOL 軟X射線分析譜儀

      軟X射線分析譜儀(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通過組合新開發的衍射光柵和高靈敏度Ｘ射線CCD相機，實現了極高的能量分辨率。 和EDS***樣可以并行檢測，并且能以0.3eV(費米邊處Al-L基準)的極高能量分辨率進行分析，超過了WDS的能量分辨率。

產品規格：

· 能量分辨率0.3eV（Al-L 光譜圖73eV處測試）

· 獲取能量范圍：衍射光柵JS50XL的能區50-170eV

· 獲取能量范圍：衍射光柵JS50XL的能區70-210eV

· 分光譜儀安裝位置：

· EPMA的WDS接口：NO.2接口（正面右側）

· FE-SEM的WDS接口（正面左后側）

· 分光譜儀尺寸　W 168mm×D 348mm ×H 683mm

· * 從接口包括CCD的距離

· 分光譜儀重量　25kg

· 適用機型

· EPMA ： JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8200

· SEM ： JSM-7800F, JSM-7800 Prime, JSM-7100F

產品特點：

· 軟X射線分析譜儀(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通過組合新開發的衍射光柵和高靈敏度Ｘ射線CCD相機，實現了極高的能量分辨率。
和EDS***樣可以并行檢測，并且能以0.3eV(費米邊處Al-L基準)的極高能量分辨率進行分析，超過了WDS的能量分辨率。

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· 系統簡介

· *新開發設計的分光系統，不需移動衍射光柵或檢測器（CCD）就能同時獲取不同能量的譜圖。而且由于能量分辨率很高，還可以采集狀態分析分布圖

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· SXES、WDS、EDS的比較

· 各種分光方法中氮化鈦樣品的譜圖

· 即使在WDS分析中氮化鈦的譜峰也l生重疊，需要采取去卷積的數學方法處理。如下圖所示，SXES具有很高的能量分辨率。

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· 比較表

鋰離子二次電池（LIB）分析實例

· 能觀察到LIB的充電量

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· 充滿電后Li-K樣品的譜圖

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說明: 由于理論上的原因，氧化鋰的檢測很困難
 

· 輕元素的測試實例

· SXES測試碳素化合物的實例

· 可以測試金剛石、石墨、聚合物的不同。

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· 各種氮素化合物的測試實例

· 氮素也可以根據波形分析化學結合狀態。 硝酸鹽和氮化物的波形完全不同，還能觀察到易受電子束損傷的銨鹽的獨特波形。

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