激光干涉儀是激光的應(yīng)用，它以激光波長為已知長度，利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光干涉儀除了可以用來測量長度以外，如果配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。
1960年，Maiman研制成功臺紅寶石激光器，從此，激光干涉測量被廣泛地用于長度、角度、微觀形貌、轉(zhuǎn)速、光譜等領(lǐng)域，并和微電子技術(shù)、計算機技術(shù)集成，成為現(xiàn)代干涉儀。
1982年，G·Binning和Rohere研制成功掃描隧道顯微鏡，1986年發(fā)明原子力顯微鏡，1986年獲得諾貝爾獎，從此開始了干涉儀向納米、亞納米分辨率和精度前進的新時代。
由于激光具有極好的時間相干性，因此，據(jù)此研發(fā)了多種激光干涉儀，包括單頻激光干涉儀、雙頻干涉儀、半導(dǎo)體激光干涉儀、法布里-珀羅干涉儀、X射線干涉儀等。
深圳市中圖儀器科技有限公司于2015年上半年在***內(nèi)推出高性能重大產(chǎn)品——SJ6000激光干涉儀。此款儀器在第十四屆中***機床展上***次亮相后，便備受業(yè)內(nèi)人士的關(guān)注，相信對激光干涉測量技術(shù)的發(fā)展有著積極的推動作用。
SJ6000激光干涉儀顯著特點
1.測量精度高、速度快，穩(wěn)定性好
①使用美***高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)
②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達nm***
③使用高速光電信號采樣和處理技術(shù)，測量速度可達到4m/s。
④配合有環(huán)境補償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度
⑤分離式干涉鏡設(shè)計，避免了測量鏡組由于主機發(fā)熱而引起的鏡組形變
2. 應(yīng)用范圍廣
①可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測
②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩(wěn)定度等分析
③可實時監(jiān)控精密加工機床等機器的動態(tài)數(shù)據(jù)，進行動態(tài)特性分析
3.軟件界面友好
①使用當(dāng)前熱門的軟件界面開發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡單。
②將靜態(tài)測量和動態(tài)測量兩種功能合并到***個軟件中，更方便用戶切換測量類型。
③向?qū)讲僮?，流程清晰，更符?**內(nèi)用戶的使用習(xí)慣。
4 性價比高
性能達到了***外儀器的水準(zhǔn)，價格是***內(nèi)儀器的良心價。
四.sj6000激光干涉儀技術(shù)參數(shù)
技術(shù)線性測長精度：±0.5ppm(0~40℃)
激光穩(wěn)頻精度：0.05ppm
分辨率：0.001um
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
