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類型

規(guī)格

Chuck（卡盤）

尺寸：4英寸，圓形

材質(zhì)：不繡鋼（可升級鍍金）

旋轉(zhuǎn)角度：0-360°可帶角度鎖定，精度0.1°

X-Y移動行程：2" x3"，移動精度：10um（可升級為1um精度）

吸附孔：中心孔徑*小可做到250微米，*小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm，能夠吸住尺寸為4"X4"

整體規(guī)格

T型平臺，輕巧方便。

平整度：5um，平臺特殊處理，使得探針座吸附更牢固

外尺寸：500mm長 x 480mm寬 x 480mm高(帶顯微鏡)

重量：30KG（帶顯微鏡）

特點

類型

規(guī)格

*客戶定制

*升級龍門結(jié)構(gòu)，精度更高，操作更方便

*采用motic金相顯微鏡

*適合安裝探針卡

*可加裝加熱臺

*可升級做射頻測試

chuck（卡盤）

尺寸：4英寸（6英寸，8英寸，12英寸可選）

材質(zhì)：不銹鋼（可鍍金）

旋轉(zhuǎn)角度：0-360°可帶角度鎖定，精度0.1°

X-Y移動行程：4" x4"，移動精度：10um（移動行程可升級為6‘’x6‘’）

吸附孔：中心孔徑*小可做到250微米，*小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm

升降調(diào)節(jié)：8MM

顯微鏡系統(tǒng)

高解析度長工作距離顯微鏡

顯微鏡 X-Y 平面移動范圍4 英寸 x 4 英寸，移動精度≤1 微米（升級龍門式結(jié)構(gòu)）

顯微鏡 Z 軸移動行程：50mm

加裝500萬像素高清CCD（配置軟件，可對一般的幾何圖形進行測量和分析）

整體規(guī)格

尺寸：580*580*620mm（帶顯微鏡）

重量：70KG

表面涂裝：白色（黑色可選）

可選配件：

加熱臺、防震桌、屏蔽箱、高壓夾具、高壓探針、射頻探針等