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全新的 Magellan? 400 SEM 是***款可在1-30 kV 電子能量范圍內(nèi)提供亞納米***分辨率的掃描電鏡，有效建立被稱為 XHR 掃描電鏡的全新性能類別。非凡的低加速電壓性能可提供其他技術(shù)根本無(wú)法實(shí)現(xiàn)的超高分辨率表面特定信息。

在半導(dǎo)體和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)市場(chǎng)，Magellan 前所未有的性能可大幅擴(kuò)展 SEM 的功能，提供基礎(chǔ)研究、流程和材料開(kāi)發(fā)、流程控制以及故障分析所需的全面解決方案。它可實(shí)現(xiàn)快速高襯度成像，并具備大樣品或多樣品的亞納米***分辨率成像和全面分析能力，包括橫截面。Magellan 400 具備業(yè)界的性能，但不削弱傳統(tǒng)SEM 的高生產(chǎn)量、樣品靈活性和易用性特征。

在科學(xué)和工業(yè)研究開(kāi)發(fā)領(lǐng)域，Magellan 具備形成高分辨率納米***表面細(xì)節(jié)、顆粒和材料界面圖像的的能力，開(kāi)啟全新的研究領(lǐng)域，享受大量取得下***項(xiàng)突破性發(fā)現(xiàn)的機(jī)會(huì)。它能使研究人員觀察到催化劑顆粒、納米管、生物體和其他納米結(jié)構(gòu)的基本屬性，而這些是他們以往利用任何其他顯微鏡或成像技術(shù)從未觀察到并且無(wú)法觀察到的。

Magellan 400 的卓越性能源自其融合了 FEI 新穎 UC 技術(shù)的的電子鏡筒設(shè)計(jì)，以及高度穩(wěn)定的平臺(tái)設(shè)計(jì)和的 五 軸100mm 壓電陶瓷樣品臺(tái)。整合式等離子清潔器和液氮冷阱可確保樣品清潔。Magellan 400 具備的低能量性能，同時(shí)也具有更高能量條件下的高分辨率 STEM 成像性能，以及包括 EDS和 EBSD 分析在內(nèi)的全面分析能力。